雅馬拓等離子清洗機V1000：13.56MHz高頻輸出的等離子清洗儀器，搭載RIE·DP雙模式。

產品型號：V1000

更新時間：2025-10-26

廠商性質：代理商

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產品介紹

雅馬拓等離子清洗機V1000產品特點：

■操作性·功能

●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器，可對應更多復雜工藝.

●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為accurate。

●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數據簡單。

■安全性·保護

●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。

●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。

●發生器保護回路：超負荷或者RF發生器發生問題時，可自動調低頻率來保護發生器。

●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。

●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。

●緊急停止按鍵（EMO）標準配備。

●當裝置發生異常時，裝置本體發出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警

■產品優勢

●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構造提高等離子處理效果。

●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。

●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。

●硅晶圓的灰化及蝕刻。

●基板表面污垢處理。

●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。

●自然氧化膜·有機物去除。

●界面活性處理。

●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機V1000產品參數：

型號		V1000
方式		DP&RIE雙模標準裝備
性能	發生器功率：	0-1000W
	發生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發生器匹配方式：	自動匹配（Automatching)
構成	腔體材質：	鋁制腔體
	腔體內尺寸：	400×400×384mm約61.4L
	電極尺寸：	300mm×300mm
	反應氣體：	雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體
	填充氣體：	一路氮氣
	控制方式：	全自動控制，5.7寸液晶觸摸屏
	真空度顯示：	測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內真空度
	配管材質：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	涂裝顏色：	標準色，白系
	外形尺寸：	W700×D800×H1600mm（高度含警報燈）
	真空泵：	無油干式真空泵抽速100m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25
	電源規格：	3phaseAC200V50/60Hz8A
	重量：	約215kg
附屬品		真空管件一套、真空轉接接頭一套