日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品詳情：

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量的品質(zhì)特性條件下實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的規(guī)格參數(shù)：

更多產(chǎn)品：SEC-Z500X多量程/多氣體數(shù)字流量控制器

高精度 ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)

該流量控制器的線性度由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并實(shí)現(xiàn)在流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實(shí)際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。

高速響應(yīng)

裝配“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點(diǎn)設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化PID系數(shù)。

多氣體/多量程解決方案

配置軟件可以快速方便更改規(guī)格。重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少所需備用流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時間和成本。SEC-Z500X 流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。

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HORIBA堀場_流量計&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀場_流量計&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀場_流量計&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

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HORIBA堀場_流量計&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀場_流量計&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀場_流量計&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

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HORIBA堀場_流量計&配件_SGPU Series、SF-1U/2U、VP-1U/2U/3U/4U、PS-SF-100C

HORIBA堀場_流量計&配件_EV-140C、IT-470F-H